| Form of studies |
Professional Bachelor |
| Title of the study programm |
Medical Engineering and Physics |
| Title in original language |
Vakuuma iekārtas PMG UV-27 magnetrona modernizācija |
| Title in English |
Modernization of the Magnetron of the PMG UV-27 Vacuum Device |
| Department |
|
| Scientific advisor |
Viktors Fomins |
| Reviewer |
Profesors Genādijs Sagalovičs |
| Abstract |
Šajā inženierprojektā vakuuma izsmīdzināšanas iekārtas PMG UV-27 (izstrādāta A/S Sidrabe) magnetrona modernizācija tiek apskatīta.
Tagādējā stāvoklī magnetronam vajadzīga dažu komponenšu modernizācija. Pirmkārt, ūdens pievadsistēmas gumijas vadi tiks ekranēti ar tērauda cauruli, jo gumija ir slikts materiāls vakuuma iekārtām. Otrkārt, mērķa perimetrs arī tiks ekranēts, lai bloķētu citu materiālu molekulu(skrūves, atdzesēšanas plate) plūsmu uz substratu. Pastavīgo magnētu konfigurācija tiks modificēta ar modelēšanas programmatūras palīdzību - šīs operācijas uzdevums ir paaugstināt mērķa izmantošanas resursu un dabūt stiprāku magnētisko lauku. Magnetrona pozīcija un montāžas mehānisms tiks mainīts, lai nodrošinātu vieglāku tehnisko apkopi.
Augstāka produkcijas kvalitāte, augstāks ražošanas ātrums, ekonomiskais labums un ērtāka tehniskā apkope ir gaidīta ka darba rezultāts.
Darbs satur 60 lapas, 22 zīmējumus, 12 tabulas.
Darba grafiskajā daļā iekļauti 7 rasējumi. |
| Keywords |
magnetrons, vakuums, izsmīdzināšana |
| Keywords in English |
magnetron, vacuum, sputtering |
| Language |
eng |
| Year |
2013 |
| Date and time of uploading |
07.01.2013 17:50:38 |
