| Abstract |
Promocijas darba galvenais mērķis ir izstrādāt un simulēt pjezorezistīv ospiediena sensoru, kas ir viens no pirmajiem MEMS tehnoloģiju produktiem un ko izmanto dažādās jomās, piemēram, automobiļu rūpniecībā, kosmosa, biomedicīnas pielietojumu un sadzīves tehnikas jomā. COMSOL simulācijas programmatūra tika izmantota, lai simulētu sensoru materiālu diagrammas un dažādus tehniskos parametrus. Pjezo rezistīvā spiediena sensoru dizaina izstrāde ir plaša, sākot no silīcija pjezorezistīvo īpašību atklāšanas līdz šobrīd lietotajiem pjezorezistīvajiem spiediena sensorumateriāliem. Pateicoties tās augstajam jutīgumam, augsta mērierīces faktoram, neatkarīgi no temperatūras, lineāras darbības ar lielu spiediena diapazonu un daudzām citām priekšrocībām. Var atrast dažādus pjezorezistīvospiediena sensoru pētījumus, tostarp to spiediena sensoru mehānismu, evolūciju, materiālus, konstrukcijas apsvērumus, veiktspējas parametru, kas jāņem
vērā,gan un ražošanas procesā, gan izmantojot praktiskajā sistēmā. |
