| Abstract |
Maģistra darba nosaukums: Termiskās problēmas nanopārklājumu uznešanai vakuumā
Darba autors: Mārcis Barkevičs
Darbs izstrādāts RTU TMF Siltumenerģētisko sistēmu katedrā..
Mūsdienās, kad nepieciešamība pēc nanotehnoloģiju risinājumiem gan pusvadītaju, gan fotoelektrisko elementu industrijā aug, ir vērts izvērtēt ražošanas efektivitāti. Ir svarīgi nākt klajā ar kompaktiem, lētiem, ērti ekspluatējamiem, taču reizē izturīgiem un ilgi kalpojošiem, kā arī ražīgiem iekārtu tehniskajiem risinājumiem, vienlaicīgi nodrošināt maksimālu gala produkta kvalitāti un kvantitāti. Tādēļ ir ļoti svarīgi izvērtēt visus faktorus, kas nosaka iekārtas iegādāšanās un uzturēšanas izmaksas.
Šī darba mērķis ir apzināt termiskās problēmas nanopārklājumu uzklāšanas procesos, ja apstrādājamais materiāls ir polimēra plēve.
Darbā apskatīti tādi iekārtas raksturlielumi, kā materiāla siltuma slodze, tā dzesēšana un uzsildīšana, magnetronu ekrānu siltuma slodzes, autors arī apskata tādas tēmas, kā siltuma izplatīšanās kameras tilpumā un kā tā tiek mazināta ar norobežojošām konstrukcijām. Tiek pievērsta uzmanība vakuumiekārtu konstrukcijās izmantotajiem materiāliem un to savienojumu veidiem, kā arī apskatīti vairāki faktori, kas jāņem vērā, lai uzlabotu vakuumu iekārtā, piemēram, virsmu apstrādes veidi, kameras tīrība.
Maģistra darbs sastāv no ievada, 7 nodaļām, to skaitā rezultātu analīze un secinājumi. Darbā ir 58 lappuses, 4 tabulas, 7 attēli. Darbā izmantoti 16 literatūras avoti. |
